Slit Coater
LCD、LTPS、OLED、Flexible Display 生产线中，向基板均匀涂布PR及Coating Material的设备。
系统特征
· 可处理2Gen. ~ 8Gen. 基板及研发图样
· 基板前面Coating Uniformity 3%以下
· 可处理低粘度/高粘度Coating Material
· 可用KCTech开发的Slit Nozzle (Shim，Shimless)应对多种工序
· 由KCTech开发的定量Syringe Type pump，具有优秀的反应性和再现性
· 可处理高速Coating(Coating Speed 300 mm/s)及Cell Coating
Vacuum Chamber Dryer
LCD、LTPS、OLED、Flexible Display生产线中，利用热真空减压对基板上涂布的Coating Material进行干燥处理的设备。
系统特征
· 可处理2Gen. ~ 8Gen. Glass，另外还可处理研发图样
· 真空Chamber内部形成均匀排气气流
· Glass的注入和排出由Chamber Up-Down 或Gate Type构成
· 便于随Glass Pattern变化的Proximity pin移动
· 通过真空Chamber 表面处理等实现No MURA、No pinhole、No pin mark、No particle
· 真空保持能力≤ 13.3pa/10min
Track System
为执行LCD、LTPS、OLED、Flexible等 Photo工艺的In-Line System
Equipment Sales Team : equipsales@kctech.co.kr
