通过喷嘴高速喷射低温干冰粒子，可干式去除基板表面的污染物并洗涤的绿色洗涤模块。
适用工艺
LCD
· AVI 检测机电极部Cleaner
· PP Case Cleaner
· 蒸镀前Cleaner
· Parts Cleaner，CO₂ Anti-Static System
OLED
· Cell Cleaner，Laser Cutting后Cleaner 等
半导体
· Photomask Cleaner (Post etch)
优点
· 不损伤表面，无废弃物排出
· 洗涤效率高
· 可根据顾客的图样进行定制
Equipment Sales Team : equipsales@kctech.co.kr
